低溫等離子廢氣凈化器由于纖維間的空隙小于氣體分子布朗運動的自由路徑，塵粒便與纖維碰撞接觸而被分離出來。其工作過程與濾料的編織方法、纖維的密度及粉塵的擴散、慣性、遮擋、重力和靜電作用等因素及其清灰方法有關。濾布材料是低溫等離子廢氣凈化器的關鍵，性能良好的濾布，除特定的致密度和透氣性外，還應有良好的蝕性、耐熱性及較高的機械強度。耐熱性能良好的纖維，其耐熱度目前已可達到250—350℃。

低溫等離子廢氣凈化器的維護

◆低溫等離子廢氣凈化器正在維護作業(yè)時，先切斷電源，作業(yè)人員攜帶操作盤的鑰匙，并在操作盤上掛上“正在檢修，嚴禁運轉”的牌子。

◆日常巡回檢查或運轉中，低溫等離子廢氣凈化器臨時處理故障時，作業(yè)人員嚴防衣物絞入傳動裝置中。進入集灰斗清灰或進入濾袋室掛袋時，穿戴勞動保護用具，防止粉塵迷眼或灼傷皮膚。

◆對于處理高溫氣體的正壓玻璃纖維布袋式除塵器，在夏季進入氣體分布室懸掛濾袋時，低溫等離子廢氣凈化器應采取防止中暑措施。

◆振打裝置、星型卸料器、排風機等的傳動裝置，如聯(lián)軸器，傳動皮帶，傳動聯(lián)輪等都要加設防護罩,以防螺栓松脫，皮帶、鏈條斷裂時飛出傷人。

◆對于處理含易燃易爆粉塵氣體的袋收除塵器，如煤磨使用的袋除收塵器，應經常收低溫等離子廢氣凈化器內積灰，以燒或爆炸，應防止火種入內。在運轉時嚴禁用電焊，氣焊焊補管道或殼體。